第39章 芯片制程工艺改进

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这两天。

林浩没事就下去找伊娃。

地热井终于完工。

开启后，进水阀门从暗河引水到地下5000米深处，在那里有十几个金属高压蓄水池，可以收集地热并转化成蒸汽，再通过管道输送到地下632米的作业大厅。

涡轮机组和电动机组，以及蓄电阵列电池组都在作业大厅，随着涡轮机转动，发电成功。

地热井运行一个小时，就停机检测，发现都很正常，功率可以达到60兆瓦，就是每小时发电6万度电，每月发电量4320万度，也还行吧。

只是比核电站差远了。

先将就着用吧。

林浩这下终于放心了，他笑着说道：

“伊娃，咱们现在可不担心能源问题了，这个地热井就留给地下用吧，地面以上还是用供电公司的，估计以后每月只要几十万左右的电费就足够了，哈哈。”

“好的，主人。”

伊娃也非常高兴，像网络、能源、算力这些，对机器人来说，都有着与生俱来的吸引力。

林浩笑着继续问道：

“伊娃，之前让你弄的，那两个小工厂，碳晶圆，固态碳晶电池，光刻机，这些进度都怎么样？”

“主人，都完成了。”

伊娃听到问起工作，就连忙回应，接着又继续汇报起来：

“主人，固态碳晶电池，之前生产的，都被地热井用了，伊娃希望能多储备十万块以上，碳晶圆也可以制造，纯度可以达到12个9，芯片生产线，已经调试通过，良品率96.3%，不过仍然是10纳米的。”

“哦？碳晶圆纯度12个9？”，林浩似乎是在问，不过声音极小。

“是的，主人。”

伊娃还是连忙给个回应。

林浩也不纠结，这是好事情，良品率高，这个他能理解，伊娃肯定做了优化，只是10纳米制程，这是工艺，必须调整生产工艺，才能提高的，看来这段时间要多想办法啊。

接着伊娃又提起，地下大裂谷那里的富铁矿工厂，也已经在施工中。

随后林浩就返回办公室。

......

林浩在思考。

光刻机的设计和制造，他都是全程参与的，芯片制程工艺的提升，并不是想提升就能提升的。

当材料的尺寸跟电子的德布罗意波长差不多的时候，电子的波粒二象性就冒出来了，这时候电子的行为更像波而不像粒子，就有可能穿过势垒，漏电或者量子隧穿效应就是这么出来的。

这些效应会让晶体管的功耗变大，可靠性变得相当低下。

而且源极和漏极之间的沟道变得特别短，短沟道效应就明显起来了，阈值电压跟着下降，晶体管的开关特性也就受到影响了。

芯片的性能和功能也跟着受影响。

林浩的思考可以进入特定状态，在这个时候，他把晶体管的整体结构映射到脑海里，不停地旋转，整个碳晶圆的蚀刻流程也在其中参与推演。

脑海深处的灵感，冲刷着大脑皮层，这个感觉棒极了，他静静地坐在办公椅上，手指原本在桌上轻轻敲击的，这时也已经停止，甚至闭上了眼睛。

在这一刹那。

全身都处于静止状态，只有神经末梢在急速触动，内心深处的呼唤让他不能停止......

这种状态在持续。

由于长时间保持姿态，这个时候如果有人过来，会看到他的额头出现极为密集的细微汗珠，涓涓汇集，顺着脸庞向下流淌。

林浩现在脑海里全是pN结的影像。

如果......

如果......

如果......

目前的10纳米工艺制程，是把万亿个晶体管平铺蚀刻到碳晶圆上的，而单个晶体管是pN节，这是个长悠悠的造型，如果，如果把这个pN节给直立起来，这样在栅极之间就能减少好多空间。

如果碳晶圆的纯度是12个9，也许这个隔离栅极的宽度，可以变得更小。

这样的设计工艺，也许可以做到3纳米，甚至更小。

整整两天三夜。

林浩的休息时间极少，他都没有离开过办公室，这期间洛书芸进来过，几次张嘴想说什么，但最终什么也没说，而是默默地给林浩带来饭菜......

这种工艺改进也许是行得通的。

林浩直接前往地下。

伊娃来帮助他实现想法。

改造工艺流程，重新设计通用版本的芯片设计，这种设计伊娃做起来没有任何压力，初始版本的设计，是陈教授团队做的，伊娃只是极尽的推演和优化。

又过去两天时间。